半導(dǎo)體冷卻系統(tǒng)Chiller技術(shù)解析與應(yīng)用指南
5半導(dǎo)體冷卻系統(tǒng)Chiller是半導(dǎo)體制造設(shè)備中實(shí)現(xiàn)溫度準(zhǔn)確控制的控溫裝置,通過(guò)制冷循環(huán)與熱交換技術(shù),將工藝過(guò)程中產(chǎn)生的熱量準(zhǔn)確轉(zhuǎn)移,確保設(shè)備與晶圓在溫控精度下穩(wěn)定運(yùn)行。 一、半導(dǎo)體冷卻系統(tǒng)Chiller技術(shù)解...
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