FLTZ變頻系列
半導(dǎo)體溫控裝置Chiller 主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制,控溫范圍:-100℃~+90℃;控溫精度:±0.05℃。公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法(PID、前饋PID、無模型自建樹算法),實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。
請搜索 制冷加熱控溫系統(tǒng) 超低溫冷凍機(jī) 制冷加熱控溫控流量系統(tǒng)(汽車防凍液) 制冷加熱控溫系統(tǒng)(氣體) TCU控溫單元
半導(dǎo)體溫控裝置Chiller 主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制,控溫范圍:-100℃~+90℃;控溫精度:±0.05℃。公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法(PID、前饋PID、無模型自建樹算法),實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。
chiller 的排吸氣溫度(壓力)、冷凝溫度、冷卻水溫度(壓力)、進(jìn)出液體(氣體)溫度(壓力)、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統(tǒng)進(jìn)行全面管理監(jiān)控記錄。
40℃以內(nèi)加熱方式采用壓縮機(jī)熱氣加熱。chiller 循環(huán)系統(tǒng)采用全密閉設(shè)計、循環(huán)泵采用磁力驅(qū)動泵。Chiller 100%氦檢測,100%安規(guī)檢測,確保系統(tǒng)安全可靠。chiller 100%經(jīng)過24小時連續(xù)運(yùn)行拷機(jī)。
冷凝器 微通道換熱器(風(fēng)冷)板式換熱器(水冷);蒸發(fā)器:板式換熱器;節(jié)流裝置:電子膨脹閥;控制系統(tǒng):PLC可編程控制器
通訊:RS485接口Modbus RTU協(xié)議,以太網(wǎng)接口 TCP/IP協(xié)議
操作界面:無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示\EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出
循環(huán)系統(tǒng):整個系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng),低溫不吸收空氣中水份,不揮發(fā)導(dǎo)熱介質(zhì),低溫自動補(bǔ)充導(dǎo)熱介質(zhì)進(jìn)入循環(huán)系統(tǒng)。
外殼材質(zhì):冷軋板噴塑RAL7035;管路內(nèi)部含:不銹鋼SUS304、銅、陶瓷、碳化硅、硅酮密封膠、PTFE
型號 | FLTZ-002 | FLTZ-003 | FLTZ-004 | FLTZ-006 | FLTZ-008 | FLTZ-010 | FLTZ-015 |
FLTZ-002W | FLTZ-003W | FLTZ-004W | FLTZ-006W | FLTZ-008W | FLTZ-010W | FLTZ-015W | |
溫度范圍 | 5℃~90℃ | ||||||
控溫精度 | ±0.05℃(出口溫度穩(wěn)態(tài)) | ||||||
制冷量at10℃ | 6kw | 8kw | 10kw | 15 kw | 20kw | 25kw | 40kw |
內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
制冷劑 | R410A | ||||||
載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等? (DI溫度需要控制10℃以上) | ||||||
進(jìn)出接口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
冷卻水口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
冷卻水流量at20℃ | 1.5m3/h | 2m3/h | 2.5m3/h | 4m3/h | 4.5m3/h | 5.6m3/h | 9m3/h |
?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度 | ||||||
尺寸 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
型號 | FLTZ-202 | FLTZ-203 | FLTZ-204 | FLTZ-206 | FLTZ-208 | FLTZ-210 | FLTZ-215 |
FLTZ-202W | FLTZ-203W | FLTZ-204W | FLTZ-206W | FLTZ-208W | FLTZ-210W | FLTZ-215W | |
溫度范圍 | ?-25℃~90℃ | ||||||
控溫精度 | ±0.05℃(出口溫度穩(wěn)態(tài)) | ||||||
流量 | 10~25L/min | 15~45L/min | 25~75L/min | ||||
制冷量at-15℃ | 2kw | 3kw | 3.8kw | 6kw | 7.6kw | 10kw | 15kw |
內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
制冷劑 | R404A | ||||||
載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等 | ||||||
進(jìn)出接口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
冷卻水接口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
冷卻水流量at20℃ | 1.2m3/H | 1.6m3/H | 2.6m3/H | 3.6m3/H | 5.5m3/H | 7m3/H | 10.2m3/H |
?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度 | ||||||
尺寸 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
型號 | FLTZ-402 | FLTZ-403 | FLTZ-404 | FLTZ-406 | FLTZ-408 | FLTZ-410 | FLTZ-415 |
FLTZ-402W | FLTZ-403W | FLTZ-404W | FLTZ-406W | FLTZ-408W | FLTZ-410W | FLTZ-415W | |
溫度范圍 | ?-45℃~90℃ | ||||||
控溫精度 | ±0.05℃(出口溫度穩(wěn)態(tài)) | ||||||
流量 | 10~25L/min? 5bar max | 15~45L/min 6bar max | 25~75L/min 6bar max | ||||
制熱 | 采用壓縮機(jī)制熱,防止冷凝器結(jié)霜技術(shù) | ||||||
制冷量at-35℃ | 1kw | 1.4kw | 1.8kw | 2.5kw | 3.3kw | 5kw | 8kw |
內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
制冷劑 | R404A | ||||||
載冷劑 | 硅油、氟化液、乙醇水溶液等 | ||||||
進(jìn)出接口尺寸 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG3/4 |
冷卻水接口 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
冷卻水流量at20℃ | 1.5m3/H | 2.4m3/H | 3.5m3/H | 5m3/H | 5.5m3/H | 6m3/H | 8m3/H |
?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度 | ||||||
尺寸 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*500*1500 | 1080*500*1500 |
型號 | FLTZ-803W | FLTZ-805W | FLTZ-806W | FLTZ-808W | FLTZ-810W |
溫度范圍 | ?-80℃~+90℃ | ||||
控溫精度 | ±0.05℃ (出口溫度穩(wěn)態(tài)) | ||||
流量控制 | 7~25L/min? 5bar max | 12~45L/min 6bar max | |||
制冷量at-70℃ | 0.6KW | 1KW | 1.5KW | 2KW | 3KW |
加熱功率 | 2KW | 2KW | 2KW | 3.5KW | 3.5KW |
內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
導(dǎo)熱介質(zhì) | 氟化液 | ||||
進(jìn)出接口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
冷卻水接口 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
冷卻水a(chǎn)t20℃ | 1.8m3/h | 2.5m3/h | 3m3/h | 5m3/h | 6m3/h |
斷路器 | 25A | 25A | 32A | 40A | 50A |
?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度 | ||||
尺寸 | 550*700*1750 | 650*850*1850 | 700*850*1850 | 700*850*1850 | 800*1200*1850 |
型號 | FLTZ-1002W | FLTZ-1004W |
溫度范圍 | ?-100℃~+90℃ | |
控溫精度 | ±0.05℃(出口溫度穩(wěn)態(tài)) | |
流量控制 | 7~25L/min 6bar max | 12~45L/min 6ba max |
制冷量at-90℃ | 1.5KW | 3KW |
加熱功率 | 3.5KW | 5.5KW |
內(nèi)循環(huán)液容積 | 5L | 8L |
膨脹罐容積 | 10L | 15L |
導(dǎo)熱介質(zhì) | 氟化液 | |
導(dǎo)熱介質(zhì)接口 | ZG3/4 | ZG3/4 |
冷卻水接口 | ZG3/4 | ZG1 |
冷卻水a(chǎn)t20℃ | 50L/min 2bar~7bar | 100L/min 2bar~7bar |
斷路器 | 32A | 63A |
?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度 |
所有設(shè)備額定測試條件:?球溫度:20℃;濕球溫度:16℃。進(jìn)?溫度:20℃;出?溫度:25℃。
型號 | FLTZ-002 | FLTZ-003 | FLTZ-004 | FLTZ-006 | FLTZ-008 | FLTZ-010 | FLTZ-015 |
FLTZ-002W | FLTZ-003W | FLTZ-004W | FLTZ-006W | FLTZ-008W | FLTZ-010W | FLTZ-015W | |
溫度范圍 | 5℃~90℃ | ||||||
控溫精度 | ±0.05℃(出口溫度穩(wěn)態(tài)) | ||||||
制冷量at10℃ | 6kw | 8kw | 10kw | 15 kw | 20kw | 25kw | 40kw |
內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
制冷劑 | R410A | ||||||
載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等? (DI溫度需要控制10℃以上) | ||||||
進(jìn)出接口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
冷卻水口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
冷卻水流量at20℃ | 1.5m3/h | 2m3/h | 2.5m3/h | 4m3/h | 4.5m3/h | 5.6m3/h | 9m3/h |
?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度 | ||||||
尺寸 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
所有設(shè)備額定測試條件:?球溫度:20℃;濕球溫度:16℃。進(jìn)?溫度:20℃;出?溫度:25℃。
型號 | FLTZ-202 | FLTZ-203 | FLTZ-204 | FLTZ-206 | FLTZ-208 | FLTZ-210 | FLTZ-215 |
FLTZ-202W | FLTZ-203W | FLTZ-204W | FLTZ-206W | FLTZ-208W | FLTZ-210W | FLTZ-215W | |
溫度范圍 | ?-25℃~90℃ | ||||||
控溫精度 | ±0.05℃(出口溫度穩(wěn)態(tài)) | ||||||
流量 | 10~25L/min | 15~45L/min | 25~75L/min | ||||
制冷量at-15℃ | 2kw | 3kw | 3.8kw | 6kw | 7.6kw | 10kw | 15kw |
內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
制冷劑 | R404A | ||||||
載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等 | ||||||
進(jìn)出接口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
冷卻水接口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
冷卻水流量at20℃ | 1.2m3/H | 1.6m3/H | 2.6m3/H | 3.6m3/H | 5.5m3/H | 7m3/H | 10.2m3/H |
?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度 | ||||||
尺寸 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
所有設(shè)備額定測試條件:?球溫度:20℃;濕球溫度:16℃。進(jìn)?溫度:20℃;出?溫度:25℃。
型號 | FLTZ-402 | FLTZ-403 | FLTZ-404 | FLTZ-406 | FLTZ-408 | FLTZ-410 | FLTZ-415 |
FLTZ-402W | FLTZ-403W | FLTZ-404W | FLTZ-406W | FLTZ-408W | FLTZ-410W | FLTZ-415W | |
溫度范圍 | ?-45℃~90℃ | ||||||
控溫精度 | ±0.05℃(出口溫度穩(wěn)態(tài)) | ||||||
流量 | 10~25L/min? 5bar max | 15~45L/min 6bar max | 25~75L/min 6bar max | ||||
制熱 | 采用壓縮機(jī)制熱,防止冷凝器結(jié)霜技術(shù) | ||||||
制冷量at-35℃ | 1kw | 1.4kw | 1.8kw | 2.5kw | 3.3kw | 5kw | 8kw |
內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
制冷劑 | R404A | ||||||
載冷劑 | 硅油、氟化液、乙醇水溶液等 | ||||||
進(jìn)出接口尺寸 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG3/4 |
冷卻水接口 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
冷卻水流量at20℃ | 1.5m3/H | 2.4m3/H | 3.5m3/H | 5m3/H | 5.5m3/H | 6m3/H | 8m3/H |
?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度 | ||||||
尺寸 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*500*1500 | 1080*500*1500 |
所有設(shè)備額定測試條件:?球溫度:20℃;濕球溫度:16℃。進(jìn)?溫度:20℃;出?溫度:25℃。
型號 | FLTZ-803W | FLTZ-805W | FLTZ-806W | FLTZ-808W | FLTZ-810W |
溫度范圍 | ?-80℃~+90℃ | ||||
控溫精度 | ±0.05℃ (出口溫度穩(wěn)態(tài)) | ||||
流量控制 | 7~25L/min? 5bar max | 12~45L/min 6bar max | |||
制冷量at-70℃ | 0.6KW | 1KW | 1.5KW | 2KW | 3KW |
加熱功率 | 2KW | 2KW | 2KW | 3.5KW | 3.5KW |
內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
導(dǎo)熱介質(zhì) | 氟化液 | ||||
進(jìn)出接口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
冷卻水接口 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
冷卻水a(chǎn)t20℃ | 1.8m3/h | 2.5m3/h | 3m3/h | 5m3/h | 6m3/h |
斷路器 | 25A | 25A | 32A | 40A | 50A |
?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度 | ||||
尺寸 | 550*700*1750 | 650*850*1850 | 700*850*1850 | 700*850*1850 | 800*1200*1850 |
所有設(shè)備額定測試條件:?球溫度:20℃;濕球溫度:16℃。進(jìn)?溫度:20℃;出?溫度:25℃。
型號 | FLTZ-1002W | FLTZ-1004W |
溫度范圍 | ?-100℃~+90℃ | |
控溫精度 | ±0.05℃(出口溫度穩(wěn)態(tài)) | |
流量控制 | 7~25L/min 6bar max | 12~45L/min 6ba max |
制冷量at-90℃ | 1.5KW | 3KW |
加熱功率 | 3.5KW | 5.5KW |
內(nèi)循環(huán)液容積 | 5L | 8L |
膨脹罐容積 | 10L | 15L |
導(dǎo)熱介質(zhì) | 氟化液 | |
導(dǎo)熱介質(zhì)接口 | ZG3/4 | ZG3/4 |
冷卻水接口 | ZG3/4 | ZG1 |
冷卻水a(chǎn)t20℃ | 50L/min 2bar~7bar | 100L/min 2bar~7bar |
斷路器 | 32A | 63A |
?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度 |
所有設(shè)備額定測試條件:?球溫度:20℃;濕球溫度:16℃。進(jìn)?溫度:20℃;出?溫度:25℃。
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