半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備chiller適用于工藝制程中準(zhǔn)確控制反應(yīng)腔室溫度，是一種用于半導(dǎo)體制造過程中對(duì)設(shè)備或工藝進(jìn)行冷卻的裝置，冠亞恒溫可為其提供了定制化的半導(dǎo)體Chiller解決方案。該方案采用了制冷技術(shù)和智能控制系統(tǒng)，能夠根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)需求自動(dòng)調(diào)節(jié)制冷量，確保生產(chǎn)環(huán)境始終保持在適合溫度范圍內(nèi)。
目前冠亞恒溫半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備chiller按照不同產(chǎn)品類型，包括單通道和雙通道，主要有FLTZ變頻單通道系列（-100℃~+90℃）、FLTZ變頻多通道系列（-45℃~+90℃）、無壓縮機(jī)系列ETCU換熱控溫單元（+5℃-+90℃）
半導(dǎo)體行業(yè)投入大，制造工序繁多。冠亞恒溫半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備chiller幫助客戶在每個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行嚴(yán)格的質(zhì)量把控，提供高穩(wěn)定性的溫度控制，保障產(chǎn)品的穩(wěn)定性和可靠性。
冠亞恒溫?fù)碛谐^14年的溫度控制經(jīng)驗(yàn)和與各行業(yè)配套的經(jīng)驗(yàn)，為客戶提供標(biāo)準(zhǔn)化和定制化的溫度控制產(chǎn)品，結(jié)合專業(yè)技術(shù)知識(shí)，確保滿足半導(dǎo)體工藝中的苛刻溫度要求。