LTS?-40℃~80℃
廣泛運(yùn)用在半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室控溫、熱沉板控溫及需要傳熱介質(zhì) 不可燃流體控溫場所,適用于半導(dǎo)體芯片制造、芯片器件、航空電子設(shè) 備中的制冷加熱溫度控制。
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廣泛運(yùn)用在半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室控溫、熱沉板控溫及需要傳熱介質(zhì) 不可燃流體控溫場所,適用于半導(dǎo)體芯片制造、芯片器件、航空電子設(shè) 備中的制冷加熱溫度控制。
生產(chǎn)車間面積超1.2萬㎡,2021年銷售額突破3億元,在職員工近300人。
型號 | LTS-402 | LTS-403 | LTS-404 | LTS-406 | LTS-408 |
LTS-402W | LTS-403W | LTS-404W | LTS-406W | LTS-408W | |
溫度范圍 | ??-40℃~80℃ | ||||
控溫精度 | ±0.1℃? -40℃~-10℃ | ||||
流量控制 | 7~25L/min | 12~45L/min | |||
流量控制采用變頻器調(diào)節(jié),循環(huán)泵最大壓力5bar | |||||
內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力、循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上 | ||||
控制器 | PLC控制器,模糊PID控制算法,具備串級控制算法 | ||||
溫度控制 | 導(dǎo)熱介質(zhì)出口溫度控制模式 | ||||
外接溫度傳感器:(PT100或4~20mA或通信給定)控制模式(串級控制) | |||||
通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | ||||
RS485接口 modbus RTU協(xié)議 | |||||
設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備導(dǎo)熱介質(zhì)出口溫度、介質(zhì)進(jìn)口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設(shè)備有) | ||||
密閉循環(huán)系統(tǒng) | 整個系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng),低溫不吸收空氣中水份,不揮發(fā)導(dǎo)熱介質(zhì),低溫自動補(bǔ)充導(dǎo)熱介質(zhì)進(jìn)入循環(huán)系統(tǒng) | ||||
壓縮機(jī) | 艾默生谷輪/丹佛斯渦旋柔性壓縮機(jī) | ||||
循環(huán)泵 | 磁力循環(huán)泵 | ||||
蒸發(fā)器 | 板式換熱器 | ||||
冷凝器 | 銅管鋁翅片冷凝器 | ||||
板式換熱器(水冷),特別注意:需要使用清潔廠務(wù)水 | |||||
制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件(干燥過濾器、油分離器) | ||||
操作面板 | 無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示\EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | ||||
安全防護(hù) | 具有自我診斷功能;相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過載保護(hù);高壓壓力開關(guān),過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。 | ||||
外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 (標(biāo)準(zhǔn)顏色7035) |
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