Chiller 直冷型

半導(dǎo)體行業(yè)廣泛應(yīng)用
適用于半導(dǎo)體晶圓廠的刻蝕、化學(xué)氣相沉積、物理氣相沉積工藝制程，對ETCH、CVD、PVD制程設(shè)備的反應(yīng)腔體進(jìn)行精確控溫

型號	ZLJ-41.0 ZLJ-41.0W	ZLJ-41.5 ZLJ-41.5W	ZLJ-42 ZLJ-42W	ZLJ-43 ZLJ-43W	ZLJ-44 ZLJ-44W	ZLJ-46 ZLJ-46W	ZLJ-48 ZLJ-48W
溫度范圍	-40℃～-15℃
控溫精度	±0.5℃ 控制蒸發(fā)溫度
制冷@-35℃	0.5kw	0.7kw	1kw	1.6kw	2.1kw	3.2kw	4kw
制冷劑	R404A 可選配R507C R448
高溫降溫	具備高溫150度直接降溫技術(shù)，滿足目標(biāo)在高溫運(yùn)行時(shí)迅速進(jìn)行降溫能力
電源	220V 50HZ			380V 50HZ 可定制220V
斷路器	6A	6A	10A	6A	10A	16A	16A

型號	ZLJ-81.0 ZLJ-81.0W	ZLJ-81.5 ZLJ-81.5W	ZLJ-82 ZLJ-82W	ZLJ-83 ZLJ-83W	ZLJ-84 ZLJ-84W	ZLJ-86 ZLJ-86W	ZLJ-88 ZLJ-88W
溫度范圍	-80℃～-50℃
控溫精度	±0.5℃ 控制蒸發(fā)溫度
制冷@-70℃	0.37kw	0.5kw	0.75kw	1.1kw	1.5kw	2.6kw	3.1kw
制冷劑	R404A/R508B
高溫降溫	具備高溫150度直接降溫技術(shù)，滿足目標(biāo)在高溫運(yùn)行時(shí)迅速進(jìn)行降溫能力
電源	220V 50HZ			380V 50HZ 可定制220V
斷路器	10A	16A	25A	16A	16A	25A	32A