快速溫變控溫卡盤MD

MD在熱測試方面的zui大創新是熱控制卡盤系列，主要用于半導體晶片的性能測試、建模、工藝開發、設計缺陷或IC故障分析。可以實現快速溫度變化，精準控制溫度。系統本身自帶制冷機，避免了液氮、二氧化碳等的消耗，每個系統均包含了卡盤和冷熱控制單元

型號	MD-708	MD-712	MDL-708
溫度范圍	-75℃～225℃	-75℃～225℃	-75℃～225℃
控溫精度	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
平板溫度均勻性	±1℃	±1℃	±1℃
平板平整度	±50um	±50um	±50um
平板尺寸	直徑200mm圓盤	直徑300mm圓盤	150mm*200mm
主機與卡片連接線	2.5m(可定制其他長度）
平板表面處理	電鍍鎳（可選擇電鍍黃金）
升溫	-60°C to +25°C: 2 min 0°C to +25°C: 2?min +25°C to +220°C: 6 min
降溫	220°C to +25°C: 2 min +25°C to -60°C: 6 min
控制系統	PLC控制器，加熱前饋PID模糊算法，制冷電子膨脹閥PID調節控制制冷量
顯示與記錄	7寸彩色觸摸屏，記錄溫度曲線
通訊	以太網接口TCP/IP協議
制冷壓縮機	泰康壓縮機
電源	220V 50/60HZ 2.8KW	220V 50/60HZ 4.5KW	220V 50/60HZ 2.8KW
主機尺寸mm	550×650×370	550×650×370	550×650×370